Je! Ni nyenzo gani bora kutumia kwa pete ya kuhifadhi CMP

Je! Ni nyenzo gani bora kutumia kwa pete ya kuhifadhi CMP?

Vipuli vya silicon ni viboreshaji vya silicon vinavyotumika katika utengenezaji wa mizunguko ya silicon semiconductor, na kisha mchakato wa uporaji wa mitambo katika mchakato wa uzalishaji wa wafers wa silicon na ni kiunga muhimu sana, kwa kawaida tunasikia inchi chache za mikate, ambayo inawakilisha kipenyo kikubwa cha kipenyo Silicon wafer, bora utendaji wa silicon hii, nguvu ya nguvu ya nguvu ya kiufundi, kwa hivyo katika mchakato wa uzalishaji wa mikate, kiwango cha mavuno kimekuwa hali muhimu sana, ambayo kwa mahitaji ya polishing ya uso pia yanaongezeka, CMP Mchakato wa polishing pia unazidi kuwa wa kisasa zaidi, kwa hivyo mchakato wa polishing kutumia pete ya mwisho ya kukomaa ya CMP

Wakati wa mchakato wa polishing ya wafer, pete ya kubakiza ya CMP lazima ishike wakati wa mchakato wa polishing. Wakati wa mchakato wa polishing, kemikali tofauti zinaongezwa, na vinywaji hivi vinaweza kutuliza vifaa vilivyochafuliwa, kwa hivyo inahitaji pete ya kubakiza ya CMP kuweza kuhimili mizigo fulani ya mitambo, kubadilika vizuri na upinzani wa kutu, na sifa zingine.

Ili kuhitimisha, kutengeneza pete za kuhifadhi CMP, tunahitaji wasindikaji kuwa na usahihi wa juu sana wa usindikaji na utulivu wa pande zote ili kupunguza ukataji wa wafers baadaye.

Kawaida tunachagua plastiki mbili maalum za uhandisi: PPS na PEEK kusindika na kutengeneza pete za CMP.

Vifaa vya PPS vinaonyeshwa na upinzani wa juu wa kuvaa, upinzani mzuri wa kemikali na upinzani wa kutengenezea, na vile vile mali nzuri ya msuguano, aina ya vifaa safi vya jua, haitachafua wafer, ikilinganishwa na pete iliyowekwa ya cmp, PPS cmps ya pete iliyowekwa ni Chini, na imeunda mnyororo kamili wa viwanda, na familia inaangazia utendaji wa gharama.

Peek CMP inayohifadhi pete ina mgawo wa juu wa msuguano, ikilinganishwa na PPS CMP inayohifadhi utendaji wa msuguano wa pete ni bora zaidi, ina upinzani kamili wa kemikali, anuwai ya upinzani wa joto, ili PeEK CMP inayohifadhi pete kwa muda mrefu- Mazingira ya nguvu ya juu ya nguvu ya juu zaidi, kwa wakati wa jamaa, hali sawa za kufanya kazi, zaidi, lakini gharama pia itakuwa kubwa ikilinganishwa na zingine.